问：1.质量流量控制器，为什么以sccm和slm为单位？ 答：从测量原理讲，热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度，采用毛细管温差量热法进行测量，流量控制器测量的就是质量流量，但显示出的数值是通用的标况（101325 pa; 0℃）体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度，因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。sccm 与 slm 为体积流量的行业标准单位，代表标况下的体积流量。slm（standard liter per minute）是表示每分钟标准升。sccm（standard cubic centimeter per minute）是表示每分钟标准毫升。 问：2.流量控制器对使用条件和环境有什么要求？ 答：通常情况是环境温度，流量规格，压力根据产品的型号不同也有差异。 问：3.内漏与外漏区别是什么？ 答：内漏是指气体整个气路内部泄漏，主要是电磁调节阀关不死造成的；外漏是管路中气体漏到气路外部，主要是接头密封不严造成的。 问:4.设定点精度与满量程精度的区别是什么？ 答:设定点精度是相对于设定点本点的精度，满量程精度是相对于满量程流量的精度。举例：量程为 100sccm 的流量控制器，当设定 50sccm 时，其设定点精度为±0.5sccm，即 50×（±1%）=±0.5sccm；满量程精度为 ±1sccm，即100sccm×（±1%）=±1sccm。 问:5.什么是产品响应时间？ 答:当流量设定点发生变化时，流量控制器的流量稳定达到流量设定点的一定范围内的最短时间。响应时间又分为气特性响应时间和电特性响应时间，气特性响应时间是指实际流量达到设定值所需的时间，电特性响应时间是指流量控制器的输出信号达到设定值所需时间，一般来说气特性响应要快于电特性响应。